Apogee Technology公司推出Sensilica系列“全硅”壓力傳感器。與現(xiàn)有產(chǎn)品相比，該公司的第一款MEMS產(chǎn)品在尺寸、成本、性能和可靠性上均具有相當(dāng)?shù)膬?yōu)勢(shì)。此外，Apogee公司還計(jì)劃在年內(nèi)推出六款新的Sensilica產(chǎn)品以滿足工業(yè)、消費(fèi)、汽車(chē)、醫(yī)療和HVAC等領(lǐng)域?qū)毫鞲衅鞯男枨蟆? Apogee公司Sensilica傳感器的關(guān)鍵性優(yōu)勢(shì)在于采用了新穎的制造和設(shè)計(jì)方法，使傳感器的尺寸比現(xiàn)有產(chǎn)品減小了4倍。這種產(chǎn)品無(wú)需使用多個(gè)元件來(lái)實(shí)現(xiàn)壓力傳感，因而有效地降低了成本，提高了產(chǎn)品的可靠性。此外，Sensilica傳感器結(jié)構(gòu)牢固，能有效降低傳感器在過(guò)壓條件下出現(xiàn)故障。 第一款Sensilica產(chǎn)品是每平方英寸0-75磅壓力的傳感器裸片，特別適合尋求極小尺寸下低成本、高性能絕對(duì)壓力傳感測(cè)量產(chǎn)品的OEM廠商使用。該公司現(xiàn)已推出工程樣品，計(jì)劃于2005年下半年正式量產(chǎn)。