Oki公司近日推出全球最薄超小型三軸加速計模塊ML8950，集成傳感器芯片和控制IC，具有全球最薄封裝形式。除具有檢測三軸（X，Y和Z）加速度（±3g）功能外，三軸加速計模塊不僅可以檢測出傾斜和沖擊震蕩，還可測量出傾斜度和振動度。適用于移動電話、移動設備、HDD和娛樂設備等應用。Oki公司將于2004年10月在日本和北美推出ML8950樣品，于2005年4月投入大批量生產。三軸加速計模塊ML8950可檢測出三軸加速度、傾斜和振動，并以數字格式輸出信號。采用微型電機（micromachined）技術和絕緣體上外延硅（SOI）晶片，Oki公司成功開發出結合高震蕩殘存性、1.4mm薄膜和小規格傳感器芯片的模塊，可滿足裝配于移動設備的所有要求。 控制IC芯片裝配在信號放大電路、控制電路、模數轉換器和溫度補償電路上。此外，它還是首例具有數字接口的三軸加速計模塊。由于它可直接連接到CPU，所以無需使用設備上的模數信號轉換器，便可內嵌于數字設備中。 ML8950是Oki公司向MEMS市場推出的首例產品，計劃到2007年3月財政年度為止其銷售目標達到100億日元。