隨著納米科學(xué)和納米技術(shù)的進(jìn)步，人們已經(jīng)不滿足于掃描物體表面，而是把目光投向探究生物有機(jī)體的內(nèi)部深層結(jié)構(gòu)和物質(zhì)的結(jié)構(gòu)，從而得以分析出其組成成分?同時(shí)，也促進(jìn)了電子學(xué)、電磁學(xué)、光學(xué)和化學(xué)等學(xué)科的進(jìn)步。 為了測(cè)量形態(tài)、構(gòu)成、磁力、偏振或化學(xué)成分等方面納米層次的內(nèi)部變化，X光顯微鏡不僅可以補(bǔ)充電子顯微鏡的不足，而且具有更多的優(yōu)勢(shì)。位于美國(guó)能源部勞倫斯伯克利國(guó)家實(shí)驗(yàn)室高級(jí)光源的XM－1型X光顯微鏡，使用明亮的光束一“軟”X光制得的圖像不僅顯示出了結(jié)構(gòu)，而且可以分析鑒定出它們的化學(xué)元素，并同時(shí)測(cè)量它們的電磁特性和其他性質(zhì)。 現(xiàn)在一種新型的在納米層級(jí)上創(chuàng)造光學(xué)設(shè)備的方法使得伯克利實(shí)驗(yàn)室X光光學(xué)中心（CXRO）的研究人員可以建造和操作XM－1型X光顯微鏡來獲得超高分辨率的圖像，甚至可以超過15納米的精度，同時(shí)研究人員在近期之內(nèi)可以取得更高分辨率，伯克利實(shí)驗(yàn)室材料科學(xué)小組的晁偉倫（音譯）說，我們的這項(xiàng)新技術(shù)使得超小三維結(jié)構(gòu)的裝配成為可能。我們相信這是通過電子束平版印刷術(shù)實(shí)現(xiàn)微型裝配技術(shù)上一大突破。