上海光機所周常河課題組日前經過長期的探索、積累，在干法深刻蝕高密度石英光柵與達曼光柵飛秒測量技術研究中取得進展。 石英光柵的精密加工需要通過干法刻蝕技術解決，其中采用高密度等離子刻蝕（ICP）技術對石英高密度光柵進行精密刻蝕是一種先進的干法刻蝕技術，但其同時也往往伴隨聚合物生長的問題。 國際學術界目前對石英光柵采用ICP刻蝕工藝條件的報道不多。該所周常河課題組對石英的優化刻蝕工藝技術取得重要進展，光柵表面最深刻蝕4微米，沒有明顯的聚合物。其近期在美國光學學會Applied Optics發表的論文報道了石英光柵干法刻蝕的優化刻蝕條件，包括刻蝕氣體的滯留時間優化控制問題與避免聚合物生長的不同氣體優化配比問題，但對精確優化條件的確定還有待于進一步探索。采用干法刻蝕技術，該課題組目前已經加工出具有自主知識產權的深刻蝕高密度石英光柵，正在進行深入研究，加工出一系列的微光學元件，可以應用于光纖波分復用技術、高強激光、光纖光柵位相板、偏振光學元件等諸多領域。本項目得到國家杰出青年基金和上海市光科技行動計劃的資助。 同時，該課題組在研究飛秒測量儀器問題時，把達曼光柵作為研究的核心，提出了具有原創性的三個反射達曼光柵飛秒測量結構。利用達曼光柵進行激光分束，避免了使用傳統半透半反分束鏡，利用光柵對消除角色散，有效實現了對飛秒脈沖的測量。由于其結構簡單，成本低，對飛秒測量具有重要的意義，該成果已申請發明專利，實驗結果在美國光學學會電子刊物Optics Express上發表。該項目得到了國家杰出青年基金和中科院儀器研制項目的資助。周常河課題組已經為相關課題的多種飛秒激光器進行了測量，并準備對更短、更復雜的飛秒脈沖開展測量工作，為發展我國的先進飛秒測量技術做出貢獻。