MKS Instruments為半導體和生物制藥應用推小巧、低電流的壓力測量解決方案631B。631B采用超小型設計，其安裝外殼減小了40%，很容易設計到新型小巧處理工具中。正常工作時電流小于1A(比現有壓力計小50%)，631B完整的電路只要求±15Vdc輸入電壓，可降低板上電源費用。此外，由于取消了互聯電纜產生的噪聲，性能獲得改善。這種全鉻鎳鐵合金電容傳感器有超級抗腐蝕能力，高額定過壓(45 psia)能力保證極好的可重復性和系統穩定性，且與處理過程無關。 631B可用于半導體制造過程中要求最苛刻的真空處理過程，例如金屬蝕刻和氮化物化學氣態沉積。它還適用于生物制藥學處理設備，例如冷凍干燥機和用蒸汽抑制細菌生長的殺菌器。