由中國計量科學研究院承擔的“微電子與納米材料及特性材料測量技術和計量基標準的研究”課題和其子課題“2.5維大范圍納米結構測量系統(tǒng)”日前通過驗收。該成果為國家技術標準專項中涉及到納米技術、信息技術、 材料技術和先進制造等領域標準的制定實施提供了必要的技術支撐。 納米技術被譽為21世紀的科學，它發(fā)展迅速、研究廣泛，世界各國都投入大量人力、物力開展這個領域里的研究。我國政府高度重視這個領域里的發(fā)展，科技部在973和863兩大計劃中，相繼啟動了有關納米器件、納米生物和納米材料的重大研究項目。國家自然科學基金委員會制定了“納米科技基礎研究的重大研究計劃”。國家發(fā)展和改革委員會先后建立了“國家納米科學中心”和“國家納米技術工程化中心”的基本建設項目。2002年國家投資開展納米測量技術研究。2005年成立了國家納米技術標準化委員會，并著手制定和發(fā)布與納米科技相關的ISO標準。 在國家科技攻關計劃??重要技術標準研究專項中，2002年科技部建立“微電子與納米材料及特性材料測量技術和計量基標準的研究”課題。美國國家標準與技術研究院（NIST）做了10年，項目仍在研究之中。而中國計量科學研究院重點進行“2.5維大范圍納米結構測量系統(tǒng)”子課題的研究工作，經過3年的努力，課題組圓滿完成了任務，并全部達到了課題要求的預定技術指標。 驗收組專家一致評價，該成果達到國際先進水平，課題的創(chuàng)新特點是：采用具有氣浮工作臺與氣動鎖緊裝置的位移臺做大范圍位移、采用6軸納米位移臺夾持被測樣板、采用快速3軸納米臺移動原子力測頭，優(yōu)化了系統(tǒng)結構，保證了測量分辨率，提高了儀器的整體計量性能。應用全空間6自由度測量控制，激光干涉儀布局做到無阿貝誤差，用激光干涉儀直接讀取三維位移數值，量值可直接溯源到激光波長。使用了雙DSP和工控機的分布式測量控制系統(tǒng)，大大提高了系統(tǒng)的動態(tài)性能。研制的高精度溫度控制系統(tǒng)和PTF測量系統(tǒng)，保證了測量準確性，提高了測量精度。 2.5維大范圍納米結構測量系統(tǒng)的完成，填補了我國在大范圍納米測量儀器上的空白，作為溯源基準，實現了納米技術中幾何量量值的準確測量和量值溯源，有助于我國納米量值傳遞體系的建立。通過該測量系統(tǒng)所傳遞出的納米量值，最終將會體現在納米科學研究的實驗數據中，體現在建立納米標準時對標準的評價數據中，體現在執(zhí)行標準時的測量數據中，體現在各種納米測量儀器所顯示的數值中，它的建立保證了這些數據的公平公正，準確可靠。中國計量科學研究院進行的微電子與納米材料及特性材料測量技術和計量基標準的研究及建立2.5維大范圍納米結構測量系統(tǒng)，使我國納米計量得到突破性的發(fā)展。 專家認為，作為我國納米量值傳遞體系的重要技術設備和溯源基準，對納米技術領域的計量設備進行校準、對納米傳遞標準提供檢定測試服務，對部分產品可進行直接測量，保證納米幾何量量值溯源與統(tǒng)一，有利于促進相關高新技術領域的技術轉化和產業(yè)化發(fā)展。而滿足國際關鍵量比對的需求，實現我國納米技術領域檢測數據的國際互認，增強了我國高新技術領域產品和技術的國際競爭實力。測量系統(tǒng)的建立，使我國擁有了大范圍、高精度的納米測量儀器，其中的許多研究成果可以轉化為產品。