西安交通大學(xué)維納儀器有限責(zé)任公司承擔(dān)的“863”MEMS領(lǐng)域重大專項(xiàng)課題??“面向石化等重要行業(yè)MEMS壓力傳感器制造與實(shí)用化研究”日前順利通過國家科技部專家組驗(yàn)收。 據(jù)了解，MEMS即微電子機(jī)械系統(tǒng)，集微型傳感器、微型執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路、接口電路、通信系統(tǒng)以及電源于一體，是一種典型的多學(xué)科交叉的前沿性研究領(lǐng)域。該課題是由西安交通大學(xué)維納儀器有限責(zé)任公司承擔(dān)，北京青鳥元芯微系統(tǒng)科技有限責(zé)任公司和華中科技大學(xué)合作開發(fā)的，總投入1050萬元。該課題針對(duì)石油化工、軍工領(lǐng)域、能源電力以及汽車等行業(yè)對(duì)壓力測(cè)試的特殊要求，研究低中高各量程、工作溫度在-30℃?200℃的MEMS壓力傳感器及其批量制造與實(shí)用化技術(shù)難題。該課題將有利于我國目前耐高溫壓力傳感器的研究工作在石油化工、軍工領(lǐng)域、能源電力以及汽車等行業(yè)盡快實(shí)現(xiàn)商品化和產(chǎn)業(yè)化。