由中科院理化研究所承擔的863計劃新材料領域“新型深紫外非線性光學晶體材料和紫外、深紫外全固態激光器”課題，通過努力攻關，在深紫外諧波光全固態激光器的研制方面，已取得突破性進展。利用在國際上首次提出的并獲得中、美兩國專利的KBBF棱鏡耦合技術，制作成功光接觸KBBF－CaF2棱鏡耦合器件，使用這一棱鏡耦合器件，以直接倍頻方法成功實現了深紫外諧波光輸出的三個國際首創： 　　1).首次實現200nm～193.5nm飛秒激光有效功率輸出：200nm的輸出功率達到12mW，轉換效率超過9.5％；193.5nm的輸出功率達到13mW，轉換效率超過10％，已經達到實用化要求。 　　2).首次實現了Nd:YVO4激光的6倍頻諧波光177.3nm輸出,并獲得3.5mW的有效功率輸出。 　　3).首次實現了Ti:Sapphire可調諧激光的4倍頻諧波光輸出，可調范圍達到200至170nm，最大輸出功率2.5mW。 　　開發的Nd:YVO4激光的6倍頻器件，已被使用于超高分辨率光電子能譜儀上，在國際上首次研制成功分辨率高達0.36meV的光電子能譜儀，測量出CeRu2等化合物超導體在超導態時，Cooper電子對和超導能隙的形成。超高分辨率能譜儀的研制成功，為未來高溫超導體的理論解釋將提供重要數據。 深紫外相干光源是指波長短于200nm的相干光。除電子同步輻射光源外，目前只有兩種技術能產生這類光源的有效功率輸出：一種是準分子激光器，另一種就是使用深紫外非線性光學晶體，通過高次諧波的方法產生深紫外相干光。準分子激光雖然具有輸出功率大的特點（10瓦量級），但此光源具有線寬大、光束質量差、操作不便、波長不可調等缺點，使其應用受到很大限制。而全固態深紫外相干光源卻具有操作方便、線寬窄、波長可調、易獲得單模輸出等優點，因此這種光源在光譜能譜儀、激光醫療、光刻技術等方面將得到廣泛的應用。