由中國科學院長春光機所承擔的應用基礎研究項目??“高精度納米分辨率線位移測量技術研究”，日前在長春通過專家鑒定。鑒定委員會專家一致認為，該項研究所制成的高精度納米測量傳感器樣機達到四倍光學倍頻，技術指標達到國際先進水平。

      本項目研究了應用衍射光干涉原理進行線位移測量的理論計算及光路設計等各種技術問題，采用衍射光干涉原理實現了高密度光柵的位移信號提取；實現了光學四細分，使光柵原始信號分辨率達到0.6μm；采用光學偏振器件對光干涉條紋進行空間移相，得到具有穩定位相差的四路光電信號，差分處理抑制光電信號的直流電平漂移，增大了信號幅值，提高了測量穩定性。