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日本新技術(shù)可將碳納米管加工成任意形狀

發(fā)布時(shí)間:2008-05-08 作者: 來(lái)源: 瀏覽:858

      日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所5日發(fā)布新聞公報(bào)說(shuō),該所科研小組采用新技術(shù)隨心所欲地控制單層碳納米管的形狀,并成功在基板上集成了1000多個(gè)具有復(fù)雜立體形狀的碳納米管元件。

  碳納米管的直徑通常為幾納米到幾十納米,管壁厚度僅有幾納米。碳納米管的韌性高,導(dǎo)電性強(qiáng),兼具金屬和半導(dǎo)體的特性,是超微元件的理想材料。但是,生成任意形狀的碳納米管并對(duì)其進(jìn)行加工一直是個(gè)難題。

  在這家研究所的實(shí)驗(yàn)中,研究人員先是借助“Super-Growth化學(xué)氣相生成法”等技術(shù)制作出碳納米管晶片,然后在碳納米管晶片表面涂上抗蝕劑,然后經(jīng)過(guò)曝光、顯像等多道工序,最終可將碳納米管加工成任意形狀。

  研究論文已于5日發(fā)表在《自然?納米技術(shù)》雜志的網(wǎng)絡(luò)版上。

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