近日，由國家發展改革委支持建設的“集成電路裝備專用高精密溫度控制系統產業化”項目完成驗收。
該項目由上海微電子裝備有限公司承擔建設，研制了高精度溫度控制系統試驗平臺，形成了溫度控制系統的批量生產能力，獲專利授權12項、軟件著作權3項。
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