在“十一五”863計劃支持下，清華大學(xué)“聲電和磁電功能薄膜與器件”創(chuàng)新團隊課題，在移動通訊用濾波器關(guān)鍵技術(shù)的研究與產(chǎn)業(yè)化、氧化鋅（ZnO）薄膜多功能化結(jié)構(gòu)與性能調(diào)控的研究取得重要進展，獲得國家科技進步二等獎和國家自然科學(xué)二等獎，并通過人才培養(yǎng)和團隊建設(shè)，形成一支規(guī)模適度、素質(zhì)優(yōu)良、結(jié)構(gòu)合理、結(jié)構(gòu)優(yōu)化和充滿活力的新材料創(chuàng)新隊伍，實現(xiàn)人才隊伍創(chuàng)新能力的跨越式提升。該課題近日順利通過驗收。
      “聲電和磁電功能薄膜與器件”創(chuàng)新團隊通過與中國電子科技集團公司第二十六研究所等單位合作，利用新開發(fā)的具有自主知識產(chǎn)權(quán)的中高頻聲表面波濾波器件的相關(guān)軟件與設(shè)計技術(shù)平臺，突破了聲表面波濾波器基片和叉指換能器材料的制備技術(shù)，大大提升了我國聲表面波技術(shù)領(lǐng)域在設(shè)計、材料、工藝、器件等方面的技術(shù)水平，打破了國外對移動通訊關(guān)鍵元器件技術(shù)、知識產(chǎn)權(quán)的壟斷，研制出在移動通訊領(lǐng)域廣泛使用的多種型號中頻和射頻（1.8GHz）聲表面波濾波器，創(chuàng)造了顯著的經(jīng)濟和社會效益。
      該創(chuàng)新團隊還通過對ZnO薄膜材料的研究，發(fā)現(xiàn)了摻雜調(diào)制ZnO薄膜壓電性、磁性和阻變特性的一般規(guī)律，從理論上闡明了結(jié)構(gòu)與性能的內(nèi)在聯(lián)系，研制出高壓電特性（達到170pC/N）ZnO壓電薄膜、高原子磁矩（6.1μB/Co）和高居里溫度（790K）ZnO稀磁薄膜、高阻變窗口（107）的ZnO阻變薄膜，制備出中心頻率達到4.2GHz的ZnO基聲表面波濾波器，隧道磁電阻達46.8%的ZnO自旋電子器件和高速（擦寫速度達到5ns）的ZnO阻變存儲器，該研究成果達到國際先進水平，研制的新型ZnO材料與器件有望在新一代信息存儲與處理領(lǐng)域獲得重要應(yīng)用，使我國在相關(guān)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)跨越式發(fā)展。