近日，重慶川儀自動化股份有限公司承擔的國家“863”計劃課題“過程控制硅壓力傳感器及系統”順利通過科技部驗收，取得系列重大成果：一是攻克過程控制硅壓力傳感器及系統的技術設計、關鍵部件開發、制造工藝、裝備等關鍵技術問題，實現了覆蓋全量程范圍的過程控制硅壓力傳感器芯片的設計、模型建立和芯片流片的制造；二是提出以消壓力環狀結構和多層粘合結構為核心的無應力封裝結構，解決了傳感器組件的應力問題；三是開發出適配軟件，建立壓力、溫度等參數的補償模型和補償參數自動修正方法，成功研制出測試精度達0.075%級的高精度傳感器系統，建成年產50000臺以上的傳感器系統生產流水線1條，實現銷售額達1億元以上。