由浙江大學承擔的“基于MEMS技術的天然氣流量計實用化研究”課題日前通過了由863計劃先進制造與自動化領域MEMS專項組織的專家驗收。 該課題成功研制了精度高、流阻小、量程寬的TMF熱式流量計系列產品，產品應用前景廣闊。在課題實施過程中，重點研究解決了硅膜與基體材料之間的高效絕熱薄膜層材料和加工工藝，以及傳感器表面抗腐蝕、耐磨損、低粘附性封裝材料及封裝工藝；適用于天然氣計量的熱式流量計供電模式、靜壓誤差補償、溫度漂移、表面粘滯效應等關鍵技術及工藝問題；研制出熱慣性低、頻響高的芯片級傳感器和高精度、大量程、低功耗的熱式流量計產品。該系列產品已實現小批量生產與試用，新增產值636萬元。