中科院理化技術研究所承擔的院儀器研制項目“納米光子學超細微加工系統”近日通過中科院綜合計劃局組織的專家驗收。現場加工測試結果表明，所研制的納米光子學超細微加工系統最小加工分辨率小于80納米，加工定位精度達到10納米，最大加工范圍達到560微米，具備了良好的三維加工能力。專家組認為，該項目按照項目合同的要求，全面完成了合同任務書規定的各項任務，技術指標先進。這種可同時具有納米尺度的加工分辨率和較大尺度范圍的激光加工系統尚未見報道，具有創新性。在加工速度、范圍及精度方面處于國際先進水平。 與以金屬材料、半導體材料、無機非金屬材料為代表的功能性硬 物質材料相比較，以有機高分子材料、無機－有機復合材料、生物材 料為代表的功能性軟物質材料具有可設計的特異光學、電子學、磁學 等方面的特性及其功能的多樣性、可調諧性，可望在包括信息、生物 等方面的各種功能性器件中得到應用。與硬物質材料相比較，軟物質 在可加工性方面、特別是微尺度三維精細加工的可能性方面具有優勢 ，為此，要實現功能性軟物質器件的特色與優勢，具有三維結構的功 能性軟物質器件是最有希望的突破口。本項目的研制成功，為在納米 尺度上開展以有機高分子光電功能材料為主的三維器件的研究建立了 高水平的技術平臺。 納米光子學超細微加工系統是理化所段宣明研究員負責完成的。 他領導的有機納米光子學研究組已成功制備了二氧化鈦、硫化鎘高分 子納米復合材料的三維光子晶體，觀測到其光子晶體帶隙，并在光子 晶體激光器的激射行為研究方面獲得進展，為微納尺度光子學器件研 究打下了較好的基礎。