“微電子與納米材料及特性材料測量技術和計量基標準的研究” 是 “十五”國家重大科技專項“重要技術標準研究專項”之一，該課題的主要目的是為納米技術等領域的發展建立測量儀器與方法的標準化體系。通過研究使我國納米計量得到突破性的發展，達到國際領先水平，促進和增強我國納米量值傳遞體系的發展和建立；形成一些有別于國外現有技術專利的釹鐵硼永磁材料結構和性能的評價體系。 在中國納米技術標準化委員會成立大會上，與會專家一致認為納米量值標準與溯源是我國納米技術發展亟待解決的問題，并在委員會下成立了納米尺度的測量方法標準化工作組，著手進行相關的納米尺度測量儀器與方法的標準制定工作。課題所建立的“2.5維大范圍納米結構測量系統”目前只有美、德兩個國家在進行研制，該系統的建立填補了我國在大范圍納米測量儀器上的空白，達到國際先進水平。能夠作為我國納米量值傳遞體系的重要技術設備和溯源基準，為“重要技術標準研究”專項中涉及到納米技術、信息技術、材料技術和先進制造等領域標準的制定實施提供有效的技術支撐和驗證手段。可以對納米技術領域的計量設備進行校準、對納米傳遞標準提供鑒定測試服務，對部分產品可進行直接測量，保證納米幾何量量值溯源與統一，有利于促進相關高新技術領域的技術轉化和產業化發展。滿足了國際關鍵量比對的需求，實現我國納米技術領域檢測數據的國際互認，增強我國高新技術領域產品和技術的國際競爭實力。 課題所建立的釹鐵硼原料、粉體中間體和成品中總氧量及不同狀態氧的分別定量方法和釹鐵硼粉體粒度大小分布的定量測定方法，為建立釹鐵硼材料中氧及其形態分析方法的標準方法提供了技術基礎。所形成的釹鐵硼分析測試方法體系現已轉化為中國金屬學會推薦方法。