日前，由中電26所、清華大學(xué)、中科院微電子研究所等共同完成的國家863 計劃特種功能材料主題“新一代無線通信用SAW器件及材料研究”課題通過驗(yàn)收。 “新一代無線通信用SAW器件及材料研究”課題就無線通信用聲表面波材料與器件開展了系統(tǒng)研究，形成了一套完整的、具有自主知識產(chǎn)權(quán)的SAW器件關(guān)鍵材料、器件設(shè)計、工藝、測試和批生產(chǎn)技術(shù)。突破了大尺寸（Φ76×140）硅酸鎵?（LGS）單晶生長驟變溫場技術(shù)、ZnO薄膜高精度定向生長技術(shù)、SAW器件唯像模型（COM/P矩陣）設(shè)計仿真技術(shù)、微細(xì)線條（0.25μm）電子束直寫技術(shù)等一系列SAW器件設(shè)計、工藝難題。該課題組已申請國家發(fā)明專利9項(xiàng)；申請國家實(shí)用新型專利（或國際專利）3項(xiàng)，并全部獲得授權(quán)；發(fā)表研究論文25篇，其中國外期刊13篇，EI和SCI上收錄15篇；出版著作1部。 以移動通訊為主要特征的通信產(chǎn)業(yè)在二十一世紀(jì)將有巨大的市場需求和廣闊的發(fā)展前景。聲表面波（Surface Acoustic Wave-SAW）器件自上世紀(jì)六十年代出現(xiàn)以來，已廣泛應(yīng)用在移動通信系統(tǒng)、電視、廣播、第三代CDMA通信系統(tǒng)以及各類軍用雷達(dá)、通信系統(tǒng)中。特別是在以擴(kuò)頻技術(shù)為標(biāo)志的新一代寬帶無線系統(tǒng)中，SAW器件以其大寬帶、極佳的通帶選擇性、極小的帶內(nèi)畸變以及具有實(shí)時信號處理能力而獲得廣泛青睞，已成為新一代各類寬帶無線通信系統(tǒng)中不可替代的關(guān)鍵器件。